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日本CKD半導體電動執行器滑塊型KBX 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產線整體效率至關重要，尤其適用于高產能需求的量產場景。
更新時間：2025-09-17
產品型號：KBX-T5
瀏覽量：22
日本CKD半導體電動執行器滑塊型EKS-M 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產線整體效率至關重要，尤其適用于高產能需求的量產場景。
更新時間：2025-09-17產品型號：EKS-04M瀏覽量：21
日本CKD半導體電動執行器滑塊型EBS-M/G 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2025-09-17產品型號：EBS-G瀏覽量：25
日本CKD半導體導向內置式活塞桿型EBR-M/G 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2025-09-17產品型號：EBR-R瀏覽量：22
日本CKD半導體電動執行器活塞桿型GSSD2 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2025-09-17產品型號：DSSD2-50瀏覽量：20
日本CKD喜開理半導體電動執行器滑塊型EJSG 一、核心技術與設計理念 EJSG 系列是 CKD 專為半導體制造、精密電子等高潔凈環境開發的滾珠絲桿驅動型電動執行器，通過全密封結構 + 吸氣口設計，將發塵量降低至行業水平，滿足 ISO 4 級（10 級）潔凈室標準。其外導軌式高剛性本體結合無電池絕對編碼器，在保證 ±0.01mm 重復定位精度的同時，實現最長 1100mm 行程和 850mm/s
更新時間：2025-09-16產品型號：EJSG-G瀏覽量：34
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